题目内容

塔子哥是一位对数学问题十分着迷的年轻人。最近，他参加了一场数学竞赛，其中有一道问题要求他计算一个大小为 $n$ 的集合中元素数量大于 $1$ 的子集，满足子集内的元素两两之间互为倍数关系的个数。但是在考场的时候塔子哥并没有想出来如何解决，考试完了回来以后他为了这个题废寝忘食，一直在思考这个问题，也没有很大的进展，作为他最好的朋友的你能不能帮他想一想这个题目要如何解决？

由于子集数量可能过大，请对 $10^9+7$ 取模。